Micro-Nano sensors and applications

作者：  朱勇，张海霞编著

出版社：北京大学出版社,2010

简介：　　 本书约32万字，共分八章。第一章对MEMS进行了概述，简要介绍了 　　MEMS技术的定义、基础理论、制造技术及应用；其后的第二～七章分别以 　　机械微传感器、热微传感器、磁微传感器、光学微传感器与辐射微传感器 　　、化学微传感器与生物微传感器和声波微传感器为主题，介绍了不同种类 　　微传感器的原理及应用；最后第八章介绍了一些传感器的应用实例。各章 　　节后均有习题和参考文献。 　　 本书可作为本科生教材，也可供从事传感器工作的教学、科研和工程 　　技术人员参考。