MEMS applications

作者：  (美)Mohamed Gad-el-Hak编;张海霞，赵小林，金玉丰等译

出版社：机械工业出版社,2009

简介：　　 本书是MEMS系列图书中的一本，主要介绍MEMS技术应用方面的知识。 　　内容包括：惯性传感器、微机械压力传感器、表面微加工器件、微执行器 　　、湍流传感器与执行器、微机器人技术、微型真空泵、非线性动电器件、 　　微液滴发生器、微热管和微散热器、微通道热沉、流动控制、用于边界层 　　减阻的反应式控制、自由剪切流的MEMS自主控制。 　　 本书主要面向MEMS专业的高年级本科生和研究生，也可供MEMS技术研 　　究人员参考 　　

MEMS design and fabrication

作者：  (美)Mohamed Gad-el-Hak编;张海霞，赵小林译

出版社：机械工业出版社,2010

简介：　　 本书是MEMS系列图书的一本，主要介绍MEMS技术中材料和加工方面的 　　知识。内容包括：MEMS中的材料，MEMS制造，LIGA及其微模压，基于X射线 　　的加工，EFAB技术及其应用，单晶SiC MEMS制造、特性与可靠性，用于碳 　　化硅体微加工的等离子体反应深刻蚀，聚合物微系统：材料和加工，光诊 　　断方法考察微流道的入口长度，应用于航空航天的微化学传感器，恶劣环 　　境下的MEMS器件封装技术，纳机电系统制造技术，分子自组装基本概念及 　　应用。 　　 本书主要面向MEMS专业的高年级本科生和研究生，也可供MEMS技术研 　　究人员参考。