等离子体电子工程学

副标题：无

作者：(日)菅井秀郎编著;张海波，张丹译

分类号：

ISBN：9787030099860

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简介

简介

本书是21世纪大学新型参考教材系列之一，书中主要讲解等离子体中的微观运动，等离子体的宏观性质，气体放电与等离子体的形成，等离子体的生成?椒ǎ等离子体在电子、环境工程中的应用等? 本书作者均为工作在专业教学、科研第一线的专家教授。书中内容新颖、重点突出，文字叙述深入浅出、流畅易懂。书中穿插有“篇外话”可作为正文内容的补充说明。各章末均有练习题，书后附有练习题解答。本书可供大学生、硕士生及科技工作者阅读参考。

1等离子体电子工程学的学习方法.

1.1等离子体概述

1.2等离子体的各种性质

1.3等离子体的应用

1.4本书的构成

练习题

2等离子体中的微观运动

2.1单个粒子的运动

2.2粒子间的碰撞

2.3弹性碰撞中的能量损失

2.4原子的激发与电离

2.5分子的激发与离解、电离

练习题

3等离子体的宏观性质

3.1分布函数与平均量

3.2等离子体基本方程

3.3等离子体的电中性

3.4粒子流动与密度分布

3.5等离子体鞘层

3.6能量平衡与粒子数平衡

.练习题

4气体放电与等离子体的形成

4.1气体的绝缘击穿——汤生的实验和理论

4.2放电起始电压——帕邢定律

4.3气体放电中的等离子体状态

4.4汤生理论的局限性

练习题

5等离子体的生成方法ⅰ——直流放电

5.1各种放电方法与放电模式

5.2辉光放电与低温等离子体..

5.3电弧放电与热等离子体

5.4电晕放电与高气压低温等离子体

5.5磁控管放电

练习题

6等离子体的生成方法ⅱ——高频放电、微波放电

6.1等离子体生成与天线耦合

6.2平行板加rf电压——电容耦合等离子体

6.3线圈通rf电流——感应耦合等离子体

6.4等离子体中的波

6.5强电波照射——表面波等离子体

6.6使用磁场中的波——ecr等离子体和螺旋波等离子体

练习题

7等离子体在电子、环境工程中的应用

7.1lsi制造工艺中的等离子体刻蚀法

7.2非晶硅薄膜的等离子体cvd制备法

7.3等离子体显示器件的工作原理

7.4利用等离子体的环境改善技术

练习题

练习题解答

参考文献

附录

篇外话

“等离子体”名称的由来

原子的内部状态和光谱标记

朗缪尔探针

流注的形成

表面磁场对等离子体的约束作用

朗道衰减与回旋衰减

用强光生成等离子体...

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