第一章 绪论
1.1 引言
1.2 电子探针仪的功能
1.3 电子探针仪的构造
1.4 电子探针分析方法的优缺点
1.5 电子探针分析发展史
参考文献
第二章 电子探针仪
2.1 电子光学系统
2.2 样品室
2.3 光学及电子光学观察系统
2.4 X光谱仪
2.5 电子探针用充气X光探测器
2.6 X光强度的测量计数系统
2.7 仪器的其它辅助系统
2.8 电子光学系统的统调和合轴
参考文献
第三章 电子与靶极的交互作用
3.1 概述
3.2 入射电子的散射
3.3 电子在靶极中的能量损失规律
3.4 电子束轰击试样时的电子发射现象
3.5 电子束透过靶极时强度的衰减
3.6 入射电子的热效应和靶极的散热问题
3.7 阴极发光现象
3.8 结晶体对电子的衍射现象
参考文献
第四章 X光物理基础
4.1 Rutherford-Bohr 原子模型
4.2 特征X光的产生
4.3 连续谱X光的产生
4.4 X射线的空间分布
4.5 X光与物质的交互作用
参考文献
第五章 定性分析
5.1 定性分析方法要领
5.2 定性分析的实验技巧
参考文献
6.1 试样制备
第六章 定量分析
6.2 标样
6.3 分析操作
6.4 定量分析数据的预处理
6.5 为何要修正和两条修正途径
6.6 边界条件
6.7 电子探针定量分析计量单位的探讨
参考文献
第七章 常用的经验修正方法
7.1 Ziebold 和 Ogilvie 方法
7.2 Bence 和 Albee 法以及 Gupta 的改进
7.3 δ系数法和影响系数法
参考文献
第八章 ZAF 修正方法
8.1 原子序数修正
8.2 吸收修正
8.3 荧光修正
8.4 其它
参考文献
9.2 迭代的方法
第九章 迭代和数据复原程序的结构
9.1 为什么要作迭代
9.3 数据复原程序结构
参考文献
第十章 特种边界条件下的分析
10.1 不满足厚度半无限条件下的薄膜分析
10.2 不满足宽度无限条件下的成分分析
参考文献
11.1 键合状态的影响
第十一章 影响定量分析准确度的一些次要因素
11.2 取向效应
11.3 环境温度的影响
11.4 电子束轰击下成分的改变
参考文献
第十二章 测量的理论精度和修正计算中误差的传播
12.1 测量能达到的最大理论精度
12.2 通过修正计算引起的误差传播
参考文献