
Fundamental research on the deep-submicron structures,devices and the mesoscopic physics
副标题:无
作 者:吴德馨,王守武主编
分类号:
ISBN:9787535721372
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简介
目录
1.激动人心的挑战
1.1紫外光光刻绝处逢生
1.2同步辐射X射线光刻崭露锋芒
1.3倍受青睐的扫描电子束光刻
1.4大显神通的干法刻蚀和干法显影
1.5人工生长超小结构的妙法
1.6STM对纳米科技的推动
2.微小器件风起云涌——新一代电子器件的家族成员
2.1更上一层楼的短沟体硅MOSFET
2.2另辟蹊径的短沟SOIMOS
2.3捷足先登的短栅HFET
2.4重放异彩的VMFET
3.介观世界探秘:介观物理和器件
3.1奇异的电子行为
3.2独特的光学性质
3.3理论物理学家们的目光焦点
3.4诱人的新型量子效应器件
参考文献
1.1紫外光光刻绝处逢生
1.2同步辐射X射线光刻崭露锋芒
1.3倍受青睐的扫描电子束光刻
1.4大显神通的干法刻蚀和干法显影
1.5人工生长超小结构的妙法
1.6STM对纳米科技的推动
2.微小器件风起云涌——新一代电子器件的家族成员
2.1更上一层楼的短沟体硅MOSFET
2.2另辟蹊径的短沟SOIMOS
2.3捷足先登的短栅HFET
2.4重放异彩的VMFET
3.介观世界探秘:介观物理和器件
3.1奇异的电子行为
3.2独特的光学性质
3.3理论物理学家们的目光焦点
3.4诱人的新型量子效应器件
参考文献
Fundamental research on the deep-submicron structures,devices and the mesoscopic physics
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